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离子束刻蚀铬和石英的选择比

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离子束刻蚀铬和石英的选择比大。离子束刻蚀铬和石英用于描述图形转移中各层材料的相互影响，即被刻蚀材料的刻蚀速率与掩蔽材料和石英的选择比大。

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