管式PECVD培训内容

Centrotherm Photovoltaics AG Process Engineer刘志伟

一．内容概述

1．设备介绍 1．1， 配电柜 1．2， 炉体 1．3， 气柜 1．4， 送料机

2. 电路图的简单读法，配件的寻找方法 3.CMI 4.CCC

4.1 所有的CESARs和CMI的backup文件 4.2 protocol的存储 4.3 remote service 4.4 recipe的编写和管理 4.5 boatcounter

5. boatcount / boat eatching

二．设备工程师常见故障解决方法

一． “Boat not correct on Paddle“

1. 在CESAR屏幕上按“return/enter” 键确定错误信息 2. 输入“ab”确认程序退出信息

3. 切换到system/handling, 将lift移到Storage3

4. 检查boat是否正确放置在paddle上，如果没有，用绝热手套将其放置正确。 5. 在CESAR菜单中选择Service/TAB recovery handling 6. 设置 manual/boat/position/setpoit=0

7. 如果boat不移动，设置manual/boat/speed=150

8. 如果“Boat not correct on Paddle”还是不消失，尝试如下操作：

１． 在CESAR菜单中选择 manual tab/ vacuum/pressure=minimum，Gas/N2NO=open，直

到”Atmo reached”, 关闭N2NO（Gas/N2NO=close）。 ２． 在打开机器大门之前将auto/hand 设置成hand ３． 抓住paddle的柄，用手移动paddle ４． 设置 manual/boat/position/setpoit=0

５． 在CESAR菜单中选择Service/TAB recovery handling, 这时炉门应该自动关闭 ６． 如果没有，选择manual/boat/service/homing=start

二． “boat already on paddle”

1. 在CESAR菜单中选service tab/InitDevs, 由此安装了各种器件，SLS 向上。 2. 保证tube pressure 达到并保持在Atmosphare 3. 设置Manual/boat/position/setpoint=0 4. 设置Manual/boat/speed=150

5. 设置Manual/boat/service/homing=start, 则paddle归０，门自动关闭。 6. 按“stop”, 再”standby”

三．进舟的时候发生错误，paddle 不能行至Max.position, 通常发生在recipe运行后１至２分钟 1. acknowledge alarms

2. 如果recipe没有自动终止，运行菜单中ExitProc

3.service/recovery/handling

四，机械臂不能运行

１．机械爪中有舟，但不能将舟放置已经＂occupied＂的paddle或storage上， 1.1 调至system handling, 查看传感器的响应状态occupied/free

1.2 如果paddle上无舟，但显示＂occupied＂, 可以屡次试验光传感器的通断，如果不行，再检查传感器的调节．

1.3 如果错误发生在将舟退到车上时，可以试着换另一个车．

2 Handling操作时臂不在middle position 2.1 检查机械臂是否可以运动 2.2 将臂移至middle position 2.3 再进行automatic操作

3．软件中预设的位置被改变 3.1 关闭CMI

3.2 运行程序rescmicfg(C/programs/centrotherm/tools)，这将保存以前的位置设置 3.3 重新打开CMI, 并cold start

4．舟浆分离或浆贝炉管卡住，按“Handling stop”

5．浆在炉中时间过长，高温下弯曲下垂，会导致在其在卡住，可用手套将其托起，冷却变直。 6．退舟时发生“Boat failure”，检查舟在浆上的位置是否正确，舟的脚是否碰到炉管，如果舟在浆上的位置正确并且脚没有碰到炉管，使用“Recovery/Handling”。

7．原则上不允许手动放舟于storage2和3上，如果手动放置，必须检查storage2和3的状态，如果有舟状态必须为occupied。

五, 关泵, 关机和开机

1, 关泵, 如需对硅烷燃烧塔进行改装

1.1, 对炉管内填气 Manual-vacuum-tube-pressure-minimum Manual-gas-N2NO-volume-open

等到信号Atmo reached 出来后，将N2NO close Manual-vacuum-pump-switch-off Manual-T.paddel-all-setpoint-250 Manual-gas-N2-volume-0.2 1, 关机

1.1, 对每一个管，Manual-service-shutdown, 将Cesar的开关关闭 将CMI操作界面关闭， 将CMI 电脑关闭

将配电柜中的各种开关关闭 将总电源关闭

2，开机

将总电源打开

将配电柜中的各种开关打开 将CMI 电脑打开 将CMI软件打开

三．操作工人操作规范

1. 装片卸片要在装片/卸片机中进行。

2. 检查装片是否到位，即要保证片子和三个接触点接触。 3. 片子装好以后要检查是否有缺片，有缺片要补装。

4. 将小车推入PECVD机器时，要检查舟的电极孔是否朝向炉门口。

5. 根据片子型号选择相应的工艺程序（recipe），切不可擅自为节省时间自行选择其他

的recipe。譬如：节省冷却时间，舟刚从炉中退出时就放到小车上推出，此时舟的温度过高，十分危险。

6. 工艺过程中一定要有人看护，工艺过程中出现警报，对其acknowledge，呼叫设备人

员。

7. 工艺结束后，将小舟退出，及时推入冷却机进行冷却。 8. 冷却好以后，推入装片/卸片机进行卸片。

四． 舟的清洗和预处理过程

１． ２． ３． ４．

对于新舟，先对其进行Recipe: Preheat.prz，对舟进行预热。 预热后，插入假片，进行Recipe: Newboat.prz，对舟进行预镀膜。 然后可以进行工艺。

工艺进行100次后，需对其进行清洗清洗步骤： 1：将舟小心拆卸。

2：将拆卸下来的部件放入清洗槽中，加入10%的氢氟酸（HF）, 浓度可适当增加或减少。 定期对其进行搅拌。大约3个小时后，取出舟，检查舟表面膜是否完全洗掉。

3：将部件放入用烘干机对舟烘干（温度80度，5小时）。

4：组装。

烘干后，对舟进行Recipe: Precoat.prz。 双击boatcounter中相应的舟的纪录，归零。 之后可以进行工艺。

５． ６． ７．