专利名称：一种用于ITO靶材清洗烘干装置专利类型：实用新型专利
发明人：柯尚文,周传水,李隽,余永强,康明锋,董永亮,范家伟申请号：CN201920951199.4申请日：20190621公开号：CN210754111U公开日：20200616
摘要：本实用新型公开了一种用于ITO靶材清洗烘干装置，本清洗烘干装置使用时，将载有ITO靶材的架子放置于水槽中，通过纯水水喉将纯水通入水槽内，启动超声振子开始清洗，清洗完成后，通过排水管将水槽内的水排尽，开启电阻加热棒进行烘干；使ITO靶材一次完成清洗烘干，消除ITO靶材在清洗干燥过程中因转移碰撞造成的残次品；省去数个水槽，缩小设备占用空间，节省设备成本，简化工艺流程，提高效率。
申请人：广东凯盛光伏技术研究院有限公司,中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司
地址：528137 广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南5号
国籍：CN
代理机构：广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人：左恒峰
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