硅片等级分类及标准

硅片等级分类及标准（150³150）

一、 优等品(Ⅰ类片)

1、物理、化学特性

错误！未找到引用源。型号:P 晶向〈100〉±1°； 错误！未找到引用源。氧含量: ≤1.0³1018at/cm3； 错误！未找到引用源。碳含量: ≤5³1016at/cm3；

错误！未找到引用源。少子寿命:τ=1.3-3.0μs(在测试电压≥20mv下裸片的数据)；

错误！未找到引用源。电阻率: 0.9-1.2、1.2-3.0、3.0-6.0Ω²cm； 错误！未找到引用源。位错密度：≤3000个/cm2； 2、几何尺寸

错误！未找到引用源。边长：125³125±0.5mm； 错误！未找到引用源。对角：150³150±0.5mm；

错误！未找到引用源。同心度：任意两弧的弦长之差≤1mm; 错误！未找到引用源。垂直度：任意两边的夹角90°±0.3°； 错误！未找到引用源。厚度：200±20μm; (中心点厚度≥195μm,边缘四点厚度≥180 μm)

180±20μm; (中心点厚度≥175μm,边缘四点厚度≥160 μm) 错误！未找到引用源。TTV：≤30μm;

错误！未找到引用源。弯曲度：≤40μm；

3、表面指标

错误！未找到引用源。线痕：无可视线痕；

错误！未找到引用源。目视表面：无沾污、无水渍、染色、白斑、指印等； 错误！未找到引用源。无崩边、无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲；

二、 合格品（Ⅱ类片）

1、物理化学特性

错误！未找到引用源。型号:P 晶向〈100〉±1°； 错误！未找到引用源。氧含量: ≤1.0³1018at/cm3； 错误！未找到引用源。碳含量: ≤5³1016at/cm3；

错误！未找到引用源。少子寿命:τ=1.0-1.2μs(在测试电压≥20mv下裸片的数据)；

错误！未找到引用源。电阻率:0.5-0.8Ω²cm；

2

错误！未找到引用源。位错密度：≤3000个/cm；

2、几何尺寸

错误！未找到引用源。边长：125³125±0.5mm； 错误！未找到引用源。对角：150³150±0.5mm；

错误！未找到引用源。同心度：任意两弧的弦长之差≤1.5mm; 错误！未找到引用源。垂直度：任意两边的夹角90°±0.3°；

错误！未找到引用源。厚度：200±20μm;(中心点厚度≥195μm,边缘四点厚度≥180 μm)

180±20μm;(中心点厚度≥175μm,边缘四点厚度≥160 μm)

错误！未找到引用源。TTV：≤30μm;

错误！未找到引用源。弯曲度：≤40μm；

3、表面指标

错误！未找到引用源。线痕：无明显线痕、触摸无凹凸感。

错误！未找到引用源。崩边范围：崩边口不是“V”型、长³深≤1³0.5mm，

个数≤1个/片；无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲；

三、 等外品（Ⅲ类片）

1、物理、化学特性

错误！未找到引用源。型号:PN 晶向〈100〉±3°；

183

错误！未找到引用源。氧含量: ≤1.0³10at/cm； 错误！未找到引用源。碳含量: ≤5³1016at/cm3；

错误！未找到引用源。少子寿命:τ＜1.0μs(在测试电压≥20m下裸片的数

据)；

错误！未找到引用源。电阻率: ≤0.5Ω²cm；

2

错误！未找到引用源。位错密度：＞3000个/cm； 2、几何尺寸

错误！未找到引用源。边长：125³125±1.0mm； 错误！未找到引用源。对角：150³150±1.0mm；

错误！未找到引用源。同心度：任意两弧的弦长之差≤1.5mm; 错误！未找到引用源。垂直度：任意两边的夹角90°±0.5°； 错误！未找到引用源。厚度：＜160μm 3、表面指标

错误！未找到引用源。有明显线痕、触摸有凹凸感。

说明：只要满足第三条“等外品（Ⅲ类片）”的任意一项就

判为不合格品。

品 管 部

2008年11月11日