(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112745991 A(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 201911056302.X(22)申请日 2019.10.31
(71)申请人 洛阳阿特斯光伏科技有限公司
地址 471023 河南省洛阳市洛龙科技园关
林大道10号(72)发明人 王珊珊 董保东 李飞龙 熊震 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司
11332
代理人 孟金喆(51)Int.Cl.
C11D 1/72(2006.01)C11D 1/74(2006.01)C11D 1/825(2006.01)C11D 1/94(2006.01)C11D 3/20(2006.01)
权利要求书1页 说明书9页
C11D 3/60(2006.01)
CN 112745991 A(54)发明名称
一种脱胶剂及其制备方法和应用(57)摘要
本发明提供一种脱胶剂，所述脱胶剂按照质量百分比包括如下组分：有机酸60～80％，渗透润湿剂1～10％，余量为水。所述渗透润湿剂和有机酸相互协同配合，辅助有机酸快速渗透浸润至窄锯缝的硅片和胶体之间，促使胶体溶胀和软化，实现胶体与硅片的分离；所述脱胶剂中还包括分散剂，分散剂与有机酸及渗透润湿剂三者协同，能够有效防止脱胶清洗过程中硅粉团聚，降低硅加工后续的清洗难度。本发明提供的脱胶剂渗透性和分散性好，易于制备，尤其适用于金刚线切割工艺的脱胶清洗工序，具有脱胶效率高、脱胶效果好的特点，是一种具有广阔应用前景的脱胶剂。
CN 112745991 A
权 利 要 求 书
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1.一种脱胶剂，其特征在于，所述脱胶剂按照质量百分比包括如下组分：有机酸60～80％，渗透润湿剂1～10％，余量为水。
2.根据权利要求1所述的脱胶剂，其特征在于，所述有机酸为羧酸；优选地，所述羧酸选自甲酸、乙酸、草酸、乳酸、柠檬酸、酒石酸或苹果酸中的任意一种或至少两种的组合。
3.根据权利要求1或2所述的脱胶剂，其特征在于，所述渗透润湿剂为非离子表面活性剂；
优选地，所述非离子表面活性剂选自聚醚型非离子表面活性剂、脂肪酸山梨坦或聚山梨酯中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述聚醚非离子表面活性剂选自炔二醇聚醚、脂肪醇聚醚或聚氧乙烯醚中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述炔二醇聚醚为乙氧基化炔二醇聚醚。4.根据权利要求1～3任一项所述的脱胶剂，其特征在于，所述脱胶剂按照质量百分比包括如下组分：有机酸60～80％，渗透润湿剂5～10％，余量为水。
5.根据权利要求1～4任一项所述的脱胶剂，其特征在于，所述脱胶剂中还包括分散剂；优选地，以所述脱胶剂的质量为100％计，所述分散剂的质量百分含量为1～5％；优选地，所述分散剂为丙二醇嵌段聚醚和/或聚氧乙烯聚氧丙烯醚；优选地，所述聚氧乙烯聚氧丙烯醚为低泡类聚氧乙烯聚氧丙烯醚。6.根据权利要求1～5任一项所述的脱胶剂，其特征在于，所述脱胶剂按照质量百分比包括如下组分：有机酸60～80％，渗透润湿剂1～10％，分散剂1～5％，余量为水。
7.根据权利要求1～6任一项所述的脱胶剂，其特征在于，所述脱胶剂按照质量百分比包括如下组分：有机酸60～80％，渗透润湿剂1～6％，分散剂1～5％，余量为水。
8.一种如权利要求1～7任一项所述的脱胶剂的制备方法，其特征在于，所述制备方法为：将各组分混合、分散，得到所述脱胶剂。
9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述混合的温度为室温；优选地，所述混合在搅拌条件下进行。
10.一种如权利要求1～7任一项所述的脱胶剂在硅加工中的应用。
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CN 112745991 A
说 明 书
一种脱胶剂及其制备方法和应用
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技术领域
[0001]本发明属于材料加工技术领域，具体涉及一种脱胶剂及其制备方法和应用。背景技术
[0002]单晶硅片、多晶硅片是制备半导体、太阳能电池片的基础材料之一，具有十分广泛的市场需求，因此也带动了硅片加工、切割产业的迅速发展。金刚线切割晶体硅是近年发展起来的新型硅片加工工艺，与传统的砂线切割工艺相比，金刚线切割工艺具有显著的成本优势，具体表现在切割产能高、环境污染小、锯缝硅料损失少等方面，产能相比砂线切割提升6倍以上，已逐渐发展成为主流的硅片切割工艺，切片产能的提升也要求整个硅片加工流程的各个工序同步提升产能、与之匹配。[0003]在硅加工领域，硅片表面的洁净度是影响硅片合格率和后期使用效果的关键因素之一，为了获得高洁净度的硅片，硅片切割后的脱胶清洗工序十分重要。CN106824903A公开了一种金刚线切割的晶体硅片的脱胶方法，包括预清洗、一次超声清洗、超声脱胶和超声漂洗四个步骤，并特殊设计了超声装置中超声波的传播方向；其中超声脱胶步骤中的脱胶剂为乳酸和/或柠檬酸；该方法通过超声装置的特殊设计实现了超声波在超声水槽中的均匀分布，提高了晶体硅片狭缝中水的润湿度和脱胶剂的分散速率，实现脱胶效率的提升。CN102500569A公开了一种甲基磺酸水溶液脱胶工艺，通过将硅片与切割基板在不高于70℃的甲基磺酸水溶液中浸泡实现硅片脱胶，具有脱胶时间短、脱胶充分、成本低的优点。CN108711547A公开了一种硅片脱胶工艺，包括如下步骤：先将硅片置于处理池中用去离子水清洗3～6次，然后使硅片在脱胶液中45～55℃浸泡35～50min，用水喷洗处理后，再次使硅片在脱胶液中50～60℃震动浸泡3～6min，而后超声清洗、经表面处理液处理、喷洗并干燥；其中，所述脱胶液为10～20份有机酸、5～8份草酸、5～8份卤代烷烃、2～5份丙酮、2～5份乙二醇、0.3～0.6份表面活性剂、0.1～0.2份缓蚀剂和0.1～0.2份消泡剂的混合物；该硅片脱胶工艺能够对硅片的残留胶进行全面的清理，从而保证了脱胶质量，还能够保证硅片的表面不受损伤。
[0004]在传统的硅片加工工艺中，砂线切割粘接板为玻璃板，锯缝的宽度为120～150μm，使用乳酸或冰醋酸脱胶剂，可在药剂浓度40％的条件下600～800s完成脱胶。随着金刚线切割工艺的不断发展，硅片切割日趋薄片化，切割对应的主辊槽距越来越窄；而且金刚线切割粘接板为树脂板，在水中会有轻微溶胀，锯缝的宽度缩小为60～85μm，以乳酸和/或冰醋酸为主要有效成分的脱胶剂渗透能力较差，短时间内无法渗入更窄的锯缝中带出硅片和硅片之间夹杂的硅粉，使脱胶时间延长到1200～2000s，从而导致脱胶清洗的产能与线切产能不匹配，制约了硅片切割工艺整体产能的提升，而且大大增加了硅片被氧化的风险。在现有技术中，通常采用向脱胶剂中加入强酸性物质或增加酸性物质浓度的方法提高脱胶效率，但这些方法会加剧设备腐蚀、产生大量刺激性气味，给人体和环境都带来较大危害。[0005]因此，开发一种脱胶效率高、脱胶效果好、且尤其适用于金刚线切割工艺的脱胶剂，是本领域的研究重点。
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说 明 书
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发明内容
[0006]针对现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种脱胶剂及其制备方法和应用，所述脱胶剂中包含有机酸和渗透润湿剂，其中，渗透润湿剂与有机酸相互协同配合，辅助有机酸快速充分地渗透到锯缝中，与固定硅铸锭和基板的胶体充分接触，进而通过有机酸对胶体的溶胀作用，实现快速、有效地脱胶效果。[0007]为达此目的，本发明采用以下技术方案：[0008]第一方面，本发明提供一种脱胶剂，所述脱胶剂按照质量百分比包括如下组分：有机酸60～80％，渗透润湿剂1～10％，余量为水。[0009]在硅片加工工艺中，硅铸锭和基板之间通过聚合物胶黏剂固定，确保硅铸锭在切割过程中不发生移动，切割完成后，需要通过清洗脱胶工序将硅片上的胶体脱除，传统的脱胶方法包括热水脱胶、酸液辅助脱胶等。随着金刚线切割工艺的不断发展，硅片切割日趋薄片化，切割对应的主辊槽距越来越窄，锯缝的宽度从大于100μm缩小到60～85μm，使传统的脱胶剂无法有效渗透到锯缝中，脱胶剂无法与胶体充分接触，导致脱胶时间延长、脱胶效果差、脱胶返工比例高。本发明提供的脱胶剂中包括有机酸和渗透润湿剂，其中，渗透润湿剂和有机酸相互协同配合，加快了有机酸的渗透速度，使有机酸渗透浸润至窄锯缝的硅片和胶体之间，有机酸与胶体充分接触、促使胶体溶胀和软化，实现胶体与硅片的分离。与现有技术中基于强酸性物质或高浓度酸性物质的脱胶剂不同，本发明提供的脱胶剂在具有快速高效脱胶效果的前提下，不会因为酸性过强而腐蚀硅片表面，也不会产生强酸的刺激性气味，是一种对人体和环境都更加友好的高渗透性高效的脱胶剂。[0010]本发明中，所述有机酸的质量百分含量为60～80％，例如61％、63％、65％、67％、69％、70％、72％、74％、76％、78％或79％，以及上述点值之间的具体点值，限于篇幅及出于简明的考虑，本发明不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。[0011]所述渗透润湿剂的质量百分含量为1～10％，例如1.2％、1.4％、1.6％、1.8％、2％、2.3％、2.5％、2.8％、3％、3.3％、3.5％、3.8％、4％、4.3％、4.5％、4.8％、5％、5.3％、5.5％、5.8％、6％、6.3％、6.5％、6.8％、7％、7.3％、7.5％、7.8％、8％、8.3％、8.5％、8.8％、9％、9.3％、9.5％或9.8％，以及上述点值之间的具体点值，限于篇幅及出于简明的考虑，本发明不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。[0012]本发明提供的脱胶剂中，有机酸的质量百分含量在60～80％范围内，若有机酸含量低于上述限定范围，则无法有效实现胶体的溶胀和软化，脱胶剂的脱胶效果差；若有机酸含量高于上述限定范围，脱胶剂中有机酸浓度过高会造成硅片表面腐蚀、影响下一步工序的质量。
[0013]本发明中，渗透润湿剂的质量百分含量为1～10％，若渗透润湿剂的含量低于上述限定范围，则所述脱胶剂不具有高渗透性的技术效果，无法有效渗透浸润窄锯缝中实现快速脱胶；若渗透润湿剂的含量高于上述限定范围，则会产生大量泡沫，使有机酸和胶体的有效接触面积减小，导致脱胶剂的脱胶效率降低。[0014]优选地，所述有机酸为羧酸。[0015]优选地，所述羧酸选自甲酸、乙酸、草酸、乳酸、柠檬酸、酒石酸或苹果酸中的任意一种或至少两种的组合。[0016]优选地，所述渗透润湿剂为非离子表面活性剂。
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说 明 书
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优选地，所述非离子表面活性剂选自聚醚型非离子表面活性剂、脂肪酸山梨坦或
聚山梨酯中的任意一种或至少两种的组合。[0018]优选地，所述聚醚非离子表面活性剂选自炔二醇聚醚、脂肪醇聚醚或聚氧乙烯醚中的任意一种或至少两种的组合。[0019]优选地，所述炔二醇聚醚为乙氧基化炔二醇聚醚。[0020]本发明提供的脱胶剂中，所述渗透润湿剂优选为非离子型表面活性剂，包括聚醚、脂肪酸山梨坦(司盘)和聚山梨酯(吐温)；所述聚醚类非离子表面活性剂包括炔二醇聚醚、脂肪醇聚醚或聚氧乙烯醚，其中，炔二醇聚醚进一步优选为乙氧基化炔二醇聚醚。本发明所述渗透润湿剂可选用市售产品，故不对渗透润湿剂的分子量以及合成方法进行特殊限定。[0021]作为本发明的优选技术方案，所述渗透润湿剂为含有直链烷基的非离子型表面活性剂，如炔醇类聚醚/聚氧乙烯醚、脂肪醇聚醚或聚氧乙烯醚等。本发明所述的渗透润湿剂作为一类表面活性剂型助剂，由亲水基及亲油基组成，当与固体表面接触时，亲水基附着于固体表面，亲油基向外伸向液体中，使液体在固体表面形成连续相；同时表活中的亲水基(醚键、羟基、双羟基等)与有机酸中的羧基之间形成氢键，辅助有机酸在硅片锯缝中快速铺展渗透至胶黏剂层，溶胀胶层，达成脱胶效果。此外，本发明所述的渗透润湿剂的化学性质为惰性，不参与体系的化学反应，耐酸碱性好，化学性质稳定，在辅助脱胶的同时不会对硅片性质造成影响。[0022]优选地，所述脱胶剂按照质量百分比包括如下组分：有机酸60～80％，渗透润湿剂5～10％，余量为水。[0023]优选地，所述脱胶剂中还包括分散剂。[0024]优选地，以所述脱胶剂的质量为100％计，所述分散剂的质量百分含量为1～5％，例如1.2％、1.4％、1.6％、1.8％、2％、2.3％、2.5％、2.8％、3％、3.3％、3.5％、3.8％、4％、4.3％、4.5％、4.7％或4.9％，以及上述点值之间的具体点值，限于篇幅及出于简明的考虑，本发明不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。[0025]优选地，所述分散剂为丙二醇嵌段聚醚和/或聚氧乙烯聚氧丙烯醚。[0026]优选地，所述聚氧乙烯聚氧丙烯醚为低泡类聚氧乙烯聚氧丙烯醚。[0027]在硅片加工工艺中，切割工序会产生大量硅粉并贮存于窄的锯缝中，现有技术中的脱胶剂一方面无法完全将硅粉从窄锯缝中带出，另一方面脱胶后带出的硅粉聚集在硅片上，增加了后道工序清洗的难度。作为本发明的优选技术方案，所述脱胶剂中还包括1～5％分散剂，所述分散剂优选为丙二醇嵌段聚醚和/或聚氧乙烯聚氧丙烯醚。所述分散剂与有机酸和渗透浸润剂协同配合，使脱胶剂快速渗透润湿至窄锯缝、将窄锯缝中的胶体和硅粉等杂质带出，防止硅粉在锯缝或硅片中的团聚，大大降低了脱胶后清洗工序的作业难度。[0028]本发明优选的丙二醇嵌段聚醚和/或聚氧乙烯聚氧丙烯醚型分散剂具有分子中支链多、分支度大的结构特点，能够显著提高脱胶剂的分散性，分散锯缝中的硅粉，达到清洁硅片缝隙的作用，从而辅助脱胶剂快速透过锯缝接触胶层，防止脱胶清洗过程中硅粉团聚。所述分散剂可选用市售的丙二醇嵌段聚醚和/或聚氧乙烯聚氧丙烯醚，故不对分散剂的分子量及合成方法进行特殊限定。此外，所述分散剂的用量应在本发明上述限定范围内，若分散剂用量低于1％，则脱胶剂的分散性欠佳；若分散剂用量大于5％，会产生大量泡沫，使脱胶剂中的有机酸和胶体的有效接触面积减小，影响脱胶效率。
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优选地，所述脱胶剂按照质量百分比包括如下组分：有机酸60～80％，渗透润湿剂
1～10％，分散剂1～5％，余量为水。[0030]优选地，所述脱胶剂按照质量百分比包括如下组分：有机酸60～80％，渗透润湿剂1～6％，分散剂1～5％，余量为水。[0031]另一方面，本发明提供一种如上所述的脱胶剂的制备方法，所述制备方法为：将各组分混合、分散，得到所述脱胶剂。[0032]优选地，所述混合的温度为室温。[0033]优选地，所述混合在搅拌条件下进行。[0034]另一方面，本发明提供一种如上所述的脱胶剂在硅加工中的应用。[0035]相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：
[0036]本发明提供的脱胶剂中包括有机酸和渗透润湿剂，所述渗透润湿剂和有机酸相互协同配合，辅助有机酸高效渗透浸润至窄锯缝的硅片和胶体之间，通过有机酸与胶体充分接触、促使胶体溶胀和软化，实现胶体与硅片的快速分离；所述脱胶剂中还包括分散剂，分散剂与有机酸及渗透润湿剂三者协同，能够有效防止脱胶清洗过程中硅粉团聚，降低硅加工后续的清洗难度。本发明提供的脱胶剂渗透性和分散性好，易于制备，尤其适用于金刚线切割工艺的脱胶清洗工序，具有脱胶效率高、脱胶效果好的特点，脱胶时间为600～800s，累计脱胶刀数为285～360，脱胶返工比例低于1.6％，甚至实现无返工，是一种具有广阔应用前景的脱胶剂。
具体实施方式
[0037]下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。[0038]实施例1
[0039]本实施例提供一种脱胶剂，具体包括如下组分：
[0040]
[0041][0042][0043][0044]
其中，渗透润湿剂为炔二醇聚醚(涂易乐104E)。
将上述组分混合，室温下搅拌分散、混匀，得到所述脱胶剂。实施例2
本实施例提供一种脱胶剂，具体包括如下组分：
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[0045]
[0046][0047][0048][0049]
其中，渗透润湿剂为聚山梨酯(吐温-80)。将上述组分混合，室温下搅拌分散、混匀，得到所述脱胶剂。实施例3
本实施例提供一种脱胶剂，具体包括如下组分：
[0050]
其中，渗透润湿剂为乙氧基化炔二醇聚醚(Surfynol 465)，分散剂为丙二醇嵌段
聚醚(牌号为L64)。
[0052]将上述组分混合，室温下搅拌分散、混匀，得到所述脱胶剂。[0053]实施例4
[0054]本实施例提供一种脱胶剂，具体包括如下组分：
[0055]
[0051]
[0056]
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其中，渗透润湿剂为脂肪醇聚醚(仲辛醇聚氧乙烯醚，JFC-2)，分散剂为丙二醇嵌
段聚醚(L64)。
[0058]将上述组分混合，室温下搅拌分散、混匀，得到所述脱胶剂。[0059]实施例5
[0060]本实施例提供一种脱胶剂，具体包括如下组分：
[0061]
[0062][0063][0064][0065][0066]
其中，渗透润湿剂为聚氧乙烯醚(JFC-1)，分散剂为聚氧乙烯聚氧丙烯醚(F6)。
将上述组分混合，室温下搅拌分散、混匀，得到所述脱胶剂。实施例6
本实施例提供一种脱胶剂，具体包括如下组分：
[0067]
其中，渗透润湿剂为脂肪酸山梨坦(司盘-20)，分散剂为丙二醇嵌段聚醚(L64)。
[0069]将上述组分混合，室温下搅拌分散、混匀，得到所述脱胶剂。[0070]实施例7
[0071]本实施例与实施例3的区别在于，不含有分散剂，去离子水的含量为18重量份。[0072]实施例8
[0073]本实施例与实施例3的区别在于，不含有分散剂，渗透润湿剂的含量为5重量份。[0074]实施例9
[0075]本实施例与实施例3的区别在于，所述分散剂的含量为7重量份，去离子水的含量为11重量份。[0076]实施例10
[0068]
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本实施例与实施例3的区别在于，所述分散剂为月桂醇聚氧乙烯醚。
[0078]实施例11
[0079]本实施例与实施例3的区别在于，所述渗透润湿剂为脂肪酸聚氧乙烯酯(SG-9)。[0080]实施例12
[0081]本实施例与实施例3的区别在于，所述渗透润湿剂为磷酸酯基甜菜碱。[0082]对比例1
[0083]本对比例与实施例3的区别在于，不含有渗透润湿剂和分散剂，去离子水的含量为21重量份。
[0084]对比例2
[0085]本对比例与实施例3的区别在于，不含有渗透润湿剂，去离子水的含量为19重量份。
[0086]对比例3
[0087]本对比例与实施例3的区别在于，渗透润湿剂的含量为11重量份，去离子水的含量为8重量份。[0088]对比例4
[0089]本对比例与实施例3的区别在于，乳酸的含量为52重量份，去离子水的含量为37重量份。
[0090]对比例5
[0091]本对比例与实施例3的区别在于，乳酸的含量为77重量份，去离子水的含量为12重量份。
[0092]对比例6
[0093]本对比例提供一种脱胶剂，所述脱胶剂为冰乙酸。[0094]对比例7
[0095]本对比例提供一种脱胶剂，所述脱胶剂为乳酸。[0096]性能测试：[0097](1)脱胶时间：使用自动化脱胶设备，将脱胶剂置于药剂槽，加水配成药剂槽中有机酸质量百分比为20％的脱胶液，切割后的硅棒放在花篮工装中，通过机械臂置于药剂槽，借助超声辅助并加热至70℃，设定浸泡时间为200s。到达设定的浸泡时间后硅棒被提拉起来，确认是否全部硅片脱离胶层，如完成，经过漂洗槽后出设备；如脱胶不彻底，有硅片仍粘接在胶层上，再次置于脱胶药剂槽返工，直至完成脱胶；记录完全脱胶所用的时间，即脱胶时间(s)。[0098](2)累计脱胶刀数：使用自动化脱胶设备，将脱胶剂置于药剂槽，加水配成药剂槽中有机酸质量百分比为20％的脱胶液，借助超声辅助并加热至70℃，切割后的硅棒通过机械臂置于药剂槽中脱胶，脱胶时间设定为上述测试得到的脱胶时间；取出脱胶硅片，再次循环放入待脱胶的硅棒，直至取出的硅片发现脱胶不良为止，统计得到累计脱胶刀数。[0099](3)脱胶返工比例：设定脱胶时间为上述测试得到的脱胶时间，统计脱胶不彻底刀数与总脱胶刀数，二者的比例即脱胶返工比例。[0100]按照上述方法测试实施例1～12、对比例1～7提供的脱胶剂的脱胶时间、累计脱胶刀数和脱胶返工比例，具体数据如表1所示：
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说 明 书
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表1
[0102]
[0103]
[0104]
从表1的数据可得，与现有技术中的有机酸脱胶剂相比(对比例6～7)，本发明实施
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说 明 书
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例1～6提供的脱胶剂具有脱胶效率高、脱胶效果好的特点，脱胶时间为600～800s，累计脱胶刀数为285～360，脱胶返工比例低于1.6％，甚至实现无返工(脱胶返工比例为0)；此外，实施例3～6中包含分散剂的脱胶剂脱胶效果更加彻底，其脱胶返工比例低于1％。[0105]本发明所述的脱胶剂中，分散剂和渗透润湿剂具有协同增效的作用，分散剂和渗透润湿剂复配的脱胶剂(实施例3)其性能明显优于仅含有渗透润湿剂的脱胶剂(实施例7～8)，渗透润湿剂并不能替代分散剂发挥作用，具体表现为实施例3的脱胶剂中分散剂和渗透润湿剂以及有机酸共同作用，使脱胶时间更短、效率更高，而且脱胶效果好、几乎不返工。如果脱胶剂中分散剂的含量超出本发明优选的5％(实施例9)，反而会破坏分散剂和渗透润湿剂之间的协同效果，导致脱胶效果减弱，返工比例上升。此外，本发明所述分散剂优选具有支链结构，如果使用直链脂肪醇聚氧乙烯醚(实施例10)，反而使脱胶效率降低、返工比例升高。
[0106]本发明提供的脱胶剂中，所述渗透润湿剂优选为炔二醇聚醚、脂肪醇聚醚或聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂，如果渗透润湿剂并非上述优选范围(实施例11～12)，则其与分散剂不具有有效的协同作用，导致脱胶剂的效率降低、脱胶效果不彻底。[0107]如果脱胶剂中不含有渗透润湿剂和分散剂(对比例1～2)、渗透润湿剂过量添加(对比例3)、乳酸的含量超出本发明优选的范围(对比例4～5)，则会导致脱胶剂的脱胶时间长，效率低，脱胶不彻底，返工比例高达10％以上，影响硅加工的整体产能。[0108]申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明提供的一种脱胶剂及其制备方法和应用，但本发明并不局限于上述实施例，即不意味着本发明必须依赖上述实施例才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明产品各原料的等效替换及辅助成分的添加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
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