外观检查设备和外观检查方法

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201280065630.6 （22）申请日 2012.12.28 （71）申请人 株式会社普利司通

地址 日本东京都

（10）申请公布号 CN104040324B

（43）申请公布日 2016.06.29

（72）发明人 助川哲也

（74）专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人 刘新宇

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

外观检查设备和外观检查方法

（57）摘要

为了提供能够检测被检体的形状和被

检体表面的细微凹凸、并且检测“光亮”和“色调变化”的表面状态的外观检查设备和外观检查方法，进行以下操作：利用波长彼此不同的三种光中的具有中间波长的狭缝光来照射被检体表面；根据所接收到的反射光来获取被检体表面的反射亮度数据；利用除中间波长以外的波长不同的两个光从不同方向以彼此重叠的方式照射被检体表面上的与狭缝光所照射的位置不同的位置，以使得根据所接收到的反射光获取被检体表面的表面

数据；根据这两个光的强度之间的比率来检测被检体表面的凹凸的有无；将反射亮度数据和表面数据合成以检测被检体表面的色调的变化；并且基于凹凸的有无和色调的变化来检测被检体表面的光泽。 法律状态

法律状态公告日

2014-09-10 2014-09-10 2015-01-07 2015-01-07 2016-06-29 2016-06-29 2019-12-13

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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