专利名称：线锯控制系统和线锯专利类型：实用新型专利发明人：菲利普·那斯卡申请号：CN201120560628.9申请日：20111223公开号：CN202685115U公开日：20130123
摘要：本公开提供了线锯控制系统和线锯。所提供的线锯控制系统(1)用于操作线锯(100)。线锯适用于切割晶片(302、304、306、306)。线锯控制系统被配置为控制线锯的线(203)的温度，并且包括：温度传感器(20)，其用于测量线的温度；以及控制器(25)，其用于基于所测量的温度来控制线锯的至少一个操作参数。测量温度的步骤具体地包括测量温度分布。此外，提供了用于控制温度以及用于操作线锯的方法。
申请人：应用材料瑞士股份有限公司
地址：瑞士洛桑市
国籍：CH
代理机构：北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人：王安武
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