T型射频等离子体发射装置[实用新型专利]

[12]实用新型专利说明书专利号 ZL

200620022134.4[51]Int.CI.

H01J 37/00 (2006.01)H05H 1/00 (2006.01)B01L 11/00 (2006.01)

[45]授权公告日2007年11月14日[22]申请日2006.12.05[21]申请号200620022134.4

[73]专利权人宋国利

地址150086黑龙江省哈尔滨市南岗区学府四道

街9号哈尔滨学院理工学院[72]设计人宋国利 杜凯 田云才

[11]授权公告号CN 200976340Y

权利要求书 1 页 说明书 1 页 附图 1 页

[54]实用新型名称

T型射频等离子体发射装置

[57]摘要

本实用新型公开了一种T型射频等离子体发射装置，目前，广泛使用的射频等离子体发射装置均为筒型设计，其缺点是仅能产生一种等离子。本实用新型的目的是提供一种可以产生两种等离子体，且二者可以发生相互作用。本产品的组成包括：两端带对接法兰(3)的主真空室(1)，所述对接法兰(3)上观察窗(4)，在所述主真空室(1)上横向设有副真空室(2)，所述主真空室(1)和所述副真空室(2)上设有接线柱(5)，所述副真空室(2)两端设有对接法兰(3)，其上有观察窗(4)。本产品用于等离子实验仪器上。

200620022134.4

权 利 要 求 书

第1/1页

1.一种T型射频等离子体发射装置，其组成包括：两端带对接法兰的主真空室，所述对接法兰上有观察窗，其特征是：在所述主真空室上横向设有副真空室，所述主真空室和所述副真空室上设有接线柱。

2.根据权利要求1所述的T型射频等离子体发射装置，其特征是：所述副真空室两端设有对接法兰，所述对接法兰上有观察窗。

2

200620022134.4

说 明 书

第1/1页

T型射频等离子体发射装置

技术领域：

本实用新型涉及一种用于等离子实验仪器上的装置。 背景技术：

目前，广泛使用的射频等离子体发射装置均为筒型设计，其缺点是仅能产生一种等离子。 发明内容：

本实用新型的目的是提供一种可以产生两种等离子体，且二者可以发生相互作用的T型射频等离子体发射装置。 上述的目的通过以下的技术方案实现：

T型射频等离子体发射装置，其组成包括：两端带对接法兰的主真空室，所述对接法兰上有观察窗，在所述主真空室上横向设有副真空室，所述主真空室和所述副真空室上设有接线柱，所述副真空室两端设有对接法兰，其上有观察窗。

这个技术方案有以下有益效果：

1.由于本实用新型的主真空室上设有了副真空室，所以主真空室和副真空室可以产生不同射频等离子，又由于二者设计为T型，所以二者产生的等离子是可以发生相互作用。 附图说明：

附图1是本产品的结构示意图。 具体实施方式： 实施例1：

T型射频等离子体发射装置，在主真空室1的两端有对接法兰3，对接法兰3上固定有观察窗4，在主真空室1上横向安装有副真空室2，主真空室1和副真空室2的管体上均设有接线柱5，副真空室2的两端设有对接法兰3，其上固定有观察窗4。

3

200620022134.4

说 明 书 附 图

4

第1/1页