专利名称：方法、涂覆装置和处理设备专利类型：发明专利发明人：迈克·菲卢夫
申请号：CN201780007468.5申请日：20170118公开号：CN108474104A公开日：20180831
摘要：本发明涉及一种方法、一种涂覆装置和一种处理设备。根据实施方案的不同形式，方法(100)可包括以下步骤：在涂覆区域(803)和收集区域(805)中产生真空；以第一主传播方向(102e)发射固体颗粒穿过涂覆区域(803)进入收集区域(805)；以第二主传播方向(104e)蒸发涂覆材料进入涂覆区域(803)，其中第一主传播方向(102e)和第二主传播方向(104e)相互成一角度延伸，使得涂覆材料蒸发绕过收集区域(805)。
申请人：冯·阿登纳资产股份有限公司
地址：德国德累斯顿
国籍：DE
代理机构：北京品源专利代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容