一种离子镀膜设备[实用新型专利]

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专利名称：一种离子镀膜设备专利类型：实用新型专利发明人：柳一民,王静辉申请号：CN201720416072.3申请日：20170420公开号：CN206858651U公开日：20180109

摘要：本实用新型公开了一种离子镀膜设备，包括真空室、进气管、真空系统、烘烤加热装置、偏压电源、活化电极、活化电极电源、电子、坩埚和电子电源，进气管的输入端固定有预混合管，预混合管包括管体，管体设有法兰接口和端板，端板上固定有若干气源接口，管体内腔的前部设有若干折流板，后部设有微孔橡胶块，微孔橡胶块的下端与管体固定，上端粘接有压板，压板的上端边部通过伸缩管与管体顶板下端面固定，中部设有与管体顶板螺接的压杆。本实用新型增设有预混合管，混合反应气体从气源接口进入管体，首先在折流板的作用下进行初步混合，而后进入微孔橡胶块的微孔中进行进一步的混合，保障混合反应气体的作用效果。

申请人：桑尼光电技术(安徽)有限公司

地址：243000 安徽省马鞍山市雨山区郑蒲港新区联合路成都机械电子创业园5#厂房

国籍：CN

代理机构：合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：童强

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