群组合式太赫兹金属镀层空芯矩形波导制造方法[发明专利]

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专利名称：群组合式太赫兹金属镀层空芯矩形波导制造方法专利类型：发明专利

发明人：毕晓磊,胡孝昀,曾永彬,曲宁松,高兵,程浩申请号：CN201910608275.6申请日：20190708公开号：CN110518320A公开日：20191129

摘要：本发明涉及一种群组合式太赫兹金属镀层空芯矩形波导制造方法，属于太赫兹微器件精密制造领域。其特征在于：制造群太赫兹金属镀层空芯矩形波导的波导腔体；制造群太赫兹金属镀层空芯矩形波导的上覆盖板；制造群太赫兹金属镀层空芯矩形波导的下覆盖板；将制造的群波导腔体、上覆盖板、下覆盖板进行组合；对组合后的工件依次切割分离获得群组合式太赫兹金属镀层空芯矩形波导。本发明可以一次实现多个高工作频率甚至是任意工作频率太赫兹金属镀层空芯矩形波导精密制造，具有重要意义。

申请人：南京航空航天大学

地址：210016 江苏省南京市秦淮区御道街29号

国籍：CN

代理机构：江苏圣典律师事务所

代理人：韩天宇

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