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一种硅单晶炉的热场系统[实用新型专利]

来源:爱站旅游
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种硅单晶炉的热场系统专利类型:实用新型专利发明人:屠勇勇,李金甫申请号:CN201020218524.5申请日:20100604公开号:CN2018565U公开日:20101124

摘要:本实用新型涉及一种硅单晶炉的热场系统,包括加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层以及埚托、托杆、上压片和下压片;还包括设置于上保温盖上面的挡圈;且保温层分为上保温套、中保温套和下保温套,分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。改善了热场系统的保温性能和保护气体的流动性能,有利于提高最终产品的质量。

申请人:浙江芯能光伏科技有限公司

地址:314400 浙江省海宁市经济开发区皮都路9号

国籍:CN

代理机构:浙江杭州金通专利事务所有限公司

代理人:吴关炳

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