（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201910329118.1 （22）申请日 2019.04.23
（71）申请人 中国电子科技集团公司第十三研究所
地址 050051 河北省石家庄市合作路113号
（10）申请公布号 CN110868182A
（43）申请公布日 2020.03.06
（72）发明人 李亮;吕鑫;梁东升;刘青林;马杰;高渊;丁现朋;冯利东;商庆杰;钱丽勋;李丽 （74）专利代理机构 石家庄国为知识产权事务所
代理人 秦敏华
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
谐振器和滤波器
（57）摘要
本发明涉及半导体技术领域，公开了一种
谐振器和滤波器。该谐振器包括衬底；多层结构，形成于所述衬底上，所述多层结构由下至上依次包括下电极层、压电层和上电极层；空气翼及空气桥，形成于所述压电层和上电极层之间，所述空气翼具有界定所述谐振器的作用区域的外边界的内边缘；及温度补偿特征，具有正温度系数以用于抵消所述压电层的负温度系数的至少一部分；其中，在所述衬底和所述多层结构之间形
成有腔体，所述腔体包括位于所述衬底上表面之下的下半腔体和超出所述衬底上表面并向所述多层结构突出的上半腔体；所述温度补偿特征在所述作用区域外侧延伸达预定长度。上述谐振器具有较好的性能。
法律状态
法律状态公告日
2020-03-06 2020-03-06 2020-03-31
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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公开 公开
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权利要求说明书
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说明书
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