专利名称:补偿空气扰动的双波长外差干涉仪的结构专利类型:发明专利发明人:P·佐拉贝迪安申请号:CN99118742.3申请日:19990915公开号:CN1260474A公开日:20000719
摘要:当台架反射镜在第一和第二位置之间移动时测量台架板射镜相对于参考反射镜的位置变化的装置包括:用于产生第一和第二重合光束的光源,第一光束波长为λ,第二光束波长为λ,其中λ=Mλ,第一光束包括两个互相垂直的偏振分量,第二光束包括两个互相垂直的偏振分量,它们的频率差为第二拍频F(λ),偏振分光镜把每束光中的两个偏振分量之一传递到参考反射镜,而把另一偏振分量传递到台架反射镜。
申请人:惠普公司
地址:美国加利福尼亚州
国籍:US
代理机构:中国专利代理()有限公司
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