专利名称：使用具有压力传感器的流量控制装置的流体供给系
统的异常检测方法
专利类型：发明专利
发明人：永濑正明,土肥亮介,池田信一,西野功二,平田薰,杉田
胜幸,松本笃咨
申请号：CN200680031548.6申请日：20060828公开号：CN101258456A公开日：20080903
摘要：能够不将阀从流体供给系统的配管路径拆下而利用具有压力传感器的流量控制装置的功能简单且迅速、正确地检查组装在使用流量控制装置的流体供给系统中的多个阀的动作不良及座泄漏等异常。具体而言，在装备有包括流量设定机构、流量及压力的显示机构及或流量自诊断机构的具有压力传感器的流量控制装置的流体供给系统中，利用上述流量控制装置的上述压力的显示值及或流量自诊断机构的诊断值检测上述流量控制装置及设在其上游侧及或下游侧的控制阀的异常。
申请人：株式会社富士金
地址：日本大阪府
国籍：JP
代理机构：中国专利代理(香港)有限公司
代理人：温大鹏
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