专利名称：一种真空光学镀膜装置专利类型：实用新型专利发明人：陶春
申请号：CN201720889878.4申请日：20170721公开号：CN207031530U公开日：20180223
摘要：本实用新型公开了一种真空光学镀膜装置，包括旋转马达、超声波除尘装置、连接杆、承载平台、喷涂装置、挡流板、真空镀膜室、气体控制阀门、进气管、蒸发源、气体过滤装置、进出气口和温度控制装置，本实用通过设置的超声波装置对待镀件进行除非，然后通过气流的冲击和进出气控制实现真空环境中的除尘，避免现采用的待镀件除尘后再进入真空室造成的污染，同时，本实用新型还通过设置的温控系统、喷涂装置和气体流量提供极大的提高了的光学镀膜的质量，本实用新型的镀膜表面厚度均匀，并且降低了镀膜成本。
申请人：南京施密特光学仪器有限公司
地址：211200 江苏省南京市溧水区东屏镇工业集中区
国籍：CN
代理机构：南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人：成立珍
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