一种二氧化钛薄膜及其制备方法和应用

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（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201610826139.0 （22）申请日 2016.09.14

（71）申请人中国科学院上海硅酸盐研究所

地址 200050 上海宁区定西路1295号

（10）申请公布号 CN107815665A

（43）申请公布日 2018.03.20

（72）发明人吕林;谢有桃;李恺;曹韫真;郑学斌

（74）专利代理机构上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙)

代理人郑优丽

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

一种二氧化钛薄膜及其制备方法和应用

（57）摘要

本发明涉及一种二氧化钛薄膜及其制备方

法和应用，是利用原子层沉积技术，采用含钛前驱体和含氧前驱体分别作为钛源和氧源，在基材表面沉积得到的二氧化钛薄膜后进行紫外照射后得到，所述二氧化钛薄膜为多晶二氧化钛薄膜，晶相为纯锐钛矿相。本发明采用原子层沉积技术制备锐钛矿型二氧化钛薄膜，具有优良的生物相容性，经过紫外光辐照后可获得优良的抗菌性能。

法律状态

法律状态公告日

2018-03-20 2018-03-20 2018-03-20 2018-04-13 2018-04-13 2020-08-21

法律状态信息

公开公开公开

实质审查的生效实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回

法律状态

公开公开公开

实质审查的生效实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回

权利要求说明书

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说明书

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