专利名称：一种基于磁阻元件的氢气传感器及其检测氢气的方
法
专利类型：发明专利
发明人：詹姆斯·G·迪克,刘宣作申请号：CN201811377334.5申请日：20181119公开号：CN109283228A公开日：20190129
摘要：本发明公开了一种基于磁阻元件的氢气传感器及其检测氢气的方法，氢气传感器包括位于X‑Y平面上的衬底；位于所述衬底上的磁电阻传感单元和磁电阻参考单元，磁电阻传感单元电连接成传感臂，磁电阻参考单元电连接成参考臂；传感臂与参考臂电连接成参考桥式结构；磁电阻传感单元与磁电阻参考单元是具有相同磁多层薄膜结构的AMR单元或是具有相同磁多层薄膜结构的GMR自旋阀或GMR多层膜堆栈。磁多层薄膜结构通过半导体微加工工艺制成带状蛇形电路，磁电阻参考单元上覆盖一层钝化绝缘层。本发明有很好的温度补偿和高灵敏度，并具有尺寸小、功耗低、探测氢气浓度范围广等优点。
申请人：江苏多维科技有限公司
地址：215634 江苏省苏州市张家港市保税区广东路7号E栋
国籍：CN
代理机构：北京品源专利代理有限公司
代理人：孟金喆
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