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一种抗蚀图形改进材料以及使用该材料制备抗蚀图形的方法[发明专利]

来源：爱站旅游

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种抗蚀图形改进材料以及使用该材料制备抗蚀图

形的方法

专利类型：发明专利发明人：野崎耕司,小澤美和申请号：CN03101768.1申请日：20030122公开号：CN1442752A公开日：20030917

摘要：本发明提出在形成精小图形时减小边缘粗糙度的改进。该目的的取得在构图刻蚀膜之后，在刻蚀膜上形成涂覆膜，以便将刻蚀膜材料和涂覆膜材料在交界面上混合来减小边缘粗糙度。提供一种抗蚀图形改进材料，包括：(a)一种水溶性或者碱溶性的成分，包含：(i)一种树脂，和(ii)一种交联剂。根据本发明，提供一种制备图形的方法，包括：形成抗蚀图形；和在抗蚀图的表面上涂覆根据本发明的抗蚀图形改进材料，其中，抗蚀图形改进材料与抗蚀图形在它们之间的界面上混合。

申请人：富士通株式会社

地址：日本神奈川

国籍：JP

代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：王永刚

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