专利名称：一种微压传感器专利类型：实用新型专利
发明人：赵晓锋,武静,刘义波,温殿忠申请号：CN202020199875.X申请日：20200219公开号：CN211504500U公开日：20200915
摘要：本实用新型公开了一种微压传感器，所述微压传感器包括SOI衬底，在所述SOI衬底上设置有弹性元件和敏感元件，以实现对外加微压的测量；其中，弹性元件包括弹性硅膜和四个梯形梁结构，敏感元件为梯形梁结构上四个压敏电阻构成的惠斯通电桥结构。本实用新型通过微电子机械加工技术在SOI晶圆上制作弹性硅膜、四个梯形梁结构和四个压敏电阻，具有集成化和小型化的特点，构成的微压传感器能够实现对外加压力的检测且能实现微压测量。
申请人：黑龙江大学
地址：150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路74号
国籍：CN
代理机构：北京康思博达知识产权代理事务所(普通合伙)
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