ESD 作业管理办法

式及稽核等,以確保電子材料經進料、生產、包裝、儲存、出貨至客戶端免於靜電破壞產品,更能提高產品之可靠性及品質,使客戶滿意。

2.範圍: 適用本廠各部門從進料、倉庫、制程到出貨。3.權責:

3.1 人資課:負責全廠ESD相關人員訓練及考核認證。

3.2 ESD Coordinator:推行全廠靜電防護作業管理，制定及執行全廠ESD 之月稽核計劃，確認執行之正確性及校正措施之執行。

3.3 ESD Leader:確認各項ESD日點檢之執行，隨時反應及指正各項未遵行ESD之行為，提出各項矯正措施。3.4 組織架構圖：

4.定義: ESD是指靜電瞬間泄放,導致電子零件的損壞,此種破壞是由於靜電存在所產生的高

壓電將零件受損或破壞。

5.作業內容:

5.1服務時間未滿三個月之全部直接人員及品質管制部、制造工程、產品製造部、物控課在工作上與ESD有相關的全部間接人員。5.2 ESD訓練 : 由人資課安排講師教授ESD課程。

5.3認證資格檢定 : 通過檢定考試決定授課人員之認證資格。

5.4 ESD認證合格 : 經ESD訓練後檢定考試成績達合格分數以上之人員即為ESD認證合格，

可從事該項工作。

5.4.1 C級認證 --- 檢定成績達75分以上者5.4.2 B級認證 --- 檢定成績達80分以上者。5.4.3 A級認證 --- 檢定成績達90分以上者。

5.5 ESD工作區域作業 : 取得ESD認證人員可至ESD工作區域作業。

5.5.1 ESD季度點檢由制造工程ME人員統一點檢.ESD月點檢及日點檢由各使用單位人員

自行點檢。如各單位有發現ESD問題交由ME人員統一處理.

5.6確認個人ESD防護功能 : 確認是否完成個人ESD防護工作，如配帶靜電環、靜電是否導通等等。

5.7確認工作區域ESD防制功能: 確認是否完成工作區域ESD防制工作，如桌面是否接地、零件放置盒是否防靜電等..

5.8確認儀器設備ESD防制功能: 確認使用的儀器或加工設備是否有接地。

5.9 ESD合格人員處理: 當個人、工作區域或儀器設備的ESD防制工作有問題時，先停止作業並通知ESD相關人員進行處理。

5.10作業: 確認所有ESD防制工作均沒問題時，即可繼續作業。

5.11執行ESD稽核: 依照ESD稽核作業規定執行日點檢、月稽核及季稽核。5.12確認是否符合規定: 經由稽核作業確認各廠ESD防製作業是否符合規定。5.13立即停止作業: 未符合 ESD防製作業規定之區域必須立即停止作業。5.14 ESD防制校正措施 : 即時提出ESD防製作業的校正措施。

5.15繼續作業 : 若ESD的防製作業符合規定，生產線可繼續正常運作。5.16保存稽核記錄 : 將各階段的稽核內容作記錄並保存。

5.16.1 ESD系統接地:採用與內線接地系統分開接地,對地電阻不得大於10Ω。

5.16.2半導體材料皆為ESD敏感材料。5.17設備要求:

5.17.1 AC-INPUT一律使用三插頭有接地端子之電源線,設備外殼一律接地 (AI、RI、SMD、

加工成型機、含散熱片鎖附治具)。

5.17.2 外加工治具：一律使用防靜電材料,並定期點檢。

5.17.3生產線和維修站工作臺需鋪上靜電桌墊,其表面電阻率為105~1011Ω/平方米, 靜電桌墊

每十米至少一個靜電扣接地;人員儀器皆需確實接地。5.17.4電動起子、鉻鐵使用三插頭有接地端子之電源線接地。

5.17.5零件盒:半導體之零件被裝置或取出時，作業人員需配帶靜電環，零件放於導電容

器或導電之零件盒中.半導體零件嚴禁放置於塑膠容器(非靜電盒)或保麗龍容器中。5.18 搬運:

5.18.1 靜電盒,靜電隔板：(黑色)規格為105~1011Ω/平方米，可使用期限一年以上,

校驗合格可繼續使用。

5.18.2 金屬盒：放置零件之金屬盒，一般為不銹鋼導體，必須置於防靜電桌墊上使用。

5.18.3 防靜電盒如使用一般塑膠籃，則需加上防靜電板隔離使用。5.18.4 輸送帶及其各裝置需確實接地。

5.18.5 A/I室及生產線的半成品台車，一般必須使用防靜電材質，並在台車底

部加接地鍊條，鍊條必須與地面接觸。5.19 儲存

5.19.1 溫濕度：儲存空間溫度控制於5℃~40℃,儲存空間之相對濕度需控制於

40%~80%的範圍之內。

5.19.2 保存架：必須使用導體或防靜電材質，及具備靜電接地設施。5.19.3 儲存人員取放材料時必須配帶靜電環並接地。

5.19.4 裝取容器：拆封之半導體需使用防靜電袋分裝，不可使用一般塑膠袋包裝。

5.20 人員：工作人員一律配帶有線靜電環並接地，各區域固定工作人員靜電環需每日點檢

三次，間接人員進入防靜電工作區需自行點檢並記錄。5.21 ESD管制:

5.21.1 ESD等級管控:管控級別規格定義管控區域管制內容ESD-0A

該區域某些零件可承

受的最大靜電電壓為250V.

該區域某些零件可承受的最大靜電電壓為500V.

該區域某些零件可承受的最大靜電電壓為1000V.

該區域某些零件可承受的最大靜電電壓為2000V.

該區域某些零件可承受的最大靜電電壓為4000V.

該區域某些零件可承受的最大靜電電壓為8000V.

該區域某些零件可承受的最大靜電電壓大於8000V.

前置加工晶體及IC元件區

1.靜電手環 2.設備接地 3.靜電桌面 4.離子風機 5.防靜電容器6.靜電敏感標示1.靜電手環 2.設備接地 3.靜電桌面 4.防靜電容器 5.靜電敏感標示

1.靜電手環 2.工作桌面 3.防靜電容器 4.靜電敏感標示 5.設備接地

1.靜電手環 2.物料架3.溫濕度 4.防靜電標示

1.靜電手環 2.靜電桌面

1.靜電手環 2.設備接地不作要求

ESD-1A前置加工段& ESD

敏感材料放置區

ESD-1B

插件線&補焊段

ESD-1C貴重零件倉

ESD-2A

OQC

ESD-2B

IQC待驗區

ESD-2C包裝&成品倉

5.21.2 ESD點檢內容:

序號12345678910

點檢週期周

靜電環

日

靜電桌扣3個月搬運臺車3個月靜電桌墊3個月靜電接地月離子風機日靜電袋3個月流水線皮帶3個月靜電盒3個月靜電環測試儀日點檢項目

點檢規格

詳見附表詳見附表詳見附表詳見附表詳見附表詳見附表詳見附表詳見附表詳見附表詳見附表詳見附表

5.21.3 標籤:

5.21.3.1 ESD敏感材料必須在MOI上予以確認:凡MOI中有

11靜電鞋3個月詳見附表

ESD敏感材料的須在MOI的右邊角

的空白地方貼附ESD敏感標籤,表示為ESD敏感材。

5.21.3.2 料盒上:凡是用於裝放有ESD敏感材料(含原材料,已加工件、裝小板)

的料盒, 均須貼附ESD敏感標籤,以標示其內存有不耐靜電之零件。

5.21.3.3 原材料放置區:對於存放ESD原材料的物料櫃、儲存架等,應在醒目位

置貼附ESD保護標籤.

5.21.3.4 工作站、工作臺、維修站,對於防靜電之工作站、工作臺、工作桌均需在醒目位置

貼附ESD保護標籤。

5.21.4 靜電標示警告。

5.21.4.1〝對ESD敏感〞標示:

5.21.4.2〝對ESD敏感〞+警語之標示：

知電子零組件對ESD 適用於防靜電

包裝材料上

極為敏感，易遭ESD破壞. 及MOI表示

要具有ESD防護.

5.21.5 防靜電工作桌

5.21.6 防靜電工作區的溫度和濕度必須做控制和記錄同。

5.21.7 防靜電工作區內所有物品之靜電壓都必須低於100V。5.21.8 必須使用抗靜電台車搬運材料及半成品。5.21.9 儲存原料的物料架,必須具有防靜電功能。5.21.10 所有治具必須具有防靜電功能。

5.21.11 使用防靜電包裝材料進行包裝作業,並確認材料是否過期。

5.21.12 作業員及檢驗員必須配帶靜電環並確實接地,並確認作業員腕帶的接地

狀態及是否有斷線。

5.21.13 做靜電測定時需附記當時之濕度及溫度。

5.21.14 季稽核: 每季由各部門組成之Quarterly Process Analysis Audit

Team一併稽核ESD作業並給予評分，內部稽核Check List 參照《ESD內部稽核查檢表》。

5.21.15 月稽核: 由廠內Audit Leader及各部門相關負責人組成ESD稽核小組，對內部自行

稽核，Audit Leader將稽核問題點整理發出，責任單位並24小時內回復相關改善對策，見《ESD稽核問題點》表單。

5.21.16 日點檢: 由各ESD區域自行點檢、記錄，IPQC人員亦隨時對ESD相關工作

場合實行抽檢。

5.21.17 資料記錄: 相關記錄須保留一年。

5.22 對象：所有新進直接人員及QC、ENG、MFG及PMM工作上與ESD有相關之間接

人員,皆必須接受ESD訓練，認證。

5.22.1 認證：所有經ESD訓練並認證合格者（認證資格區分為A、B、C三個等級）。

5.22.2 A級: 廠內訓練講師、Coordinator、稽核員、及各工作區域課長級(含)以上皆需具備之。

5.22.3 B級: 廠內各工作區域班、組長、QC人員及技朮員(含)以上職稱者均需具備之。

5.22.4 C級: 廠內ESD區域現場操作人員均需具備之。

5.22.5 重新認證: 凡認證資格已失效者(違反ESD規定二次者即取消資格), 須

經此訓練。重新考試取得認證.所有人員每年亦必須接受重新訓練及認證。

5.22.6 訓練講師：必須具備A級ESD認證合格之人員，廠內必須培養經認證合格之講師。6 流程圖：無。

7 相關文件：設施設備規劃管理程序 2-07

設備与ESD接地系統測量點檢規范 見附件一

8.使用表單：項次表單名稱

表單編號

所屬文件

保管部門

123456789101112

有線式靜電環檢測記錄表（產線）4-13-006-01

（ESD）靜電阻抗點檢表

設備接地檢查表測試儀器接地點檢表ESD內部稽核查檢表ESD稽核問題點溫濕度點檢記錄表總接地系統檢測記錄表溫濕度異常處理記錄表

ESD點檢標簽離子風扇點檢表靜電環測試儀點檢表

4-13-006-024-13-006-034-13-006-094-13-006-044-13-006-054-13-006-064-13-006-074-13-006-084-13-006-104-07-003-094-13-006-11

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制造工程課制造工程課制造工程課制造工程課制造工程課制造工程課制造工程課制造工程課制造工程課制造工程課制造課制造工程課

1. 人體 2. 靜電環 3. 防靜電桌面

4. 儀器 5. 設備地線 6. 靜電地線