（12）实用新型专利
（21）申请号 CN201821555028.1 （22）申请日 2018.09.21
（71）申请人 深圳市致行科技有限公司 楼
（72）发明人 陈冬;张宇;杨维 （74）专利代理机构
代理人
地址 518057 广东省深圳市南山区粤海街道深圳市南山区高新中一道8号万和医药园4
（10）申请公布号 CN208969424U
（43）申请公布日 2019.06.11
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
光刻胶喷涂装置
（57）摘要
本实用新型涉及半导体制备领域，针对光
刻胶结晶的问题，提供了一种光刻胶喷涂装置，该技术方案如下：包括基座、工作台、主支架，主支架上设有喷头，基座上设有储液瓶，喷头包括与储液瓶连通的储液管，储液管一端朝向工作台，储液管朝向工作台的端部连接有覆盖储液管管口的挡板，挡板上开有若干喷液孔，挡板上滑动连接有隔断板，隔断板上开有若干过渡孔，过
渡孔与喷液孔一一对应，储液管设有驱动隔断板滑动以使过渡孔与喷液孔正对或相错的驱动组件。喷涂完毕后，通过隔断板与挡板配合封闭储液管，使得储液管内的光刻胶的溶剂难以挥发，进而减少光刻胶结晶的情况，减少光刻胶结晶导致无法使用的情况，减少浪费。
法律状态
法律状态公告日
2019-06-11
法律状态信息
授权
法律状态
授权
权利要求说明书
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说明书
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