专利名称:光酸产生剂专利类型:发明专利
发明人:W·威廉姆斯三世,E·阿卡德,J·F·卡梅伦申请号:CN201611192232.7申请日:20161221公开号:CN106928109A公开日:20170707
摘要:一种具有式(I)的光酸产生剂化合物:其中,EWG、Y、R和M与说明书中所描述相同。
申请人:罗门哈斯电子材料有限责任公司
地址:美国马萨诸塞州
国籍:US
代理机构:上海专利商标事务所有限公司
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