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光酸产生剂[发明专利]

来源:爱站旅游
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:光酸产生剂专利类型:发明专利

发明人:W·威廉姆斯三世,E·阿卡德,J·F·卡梅伦申请号:CN201611192232.7申请日:20161221公开号:CN106928109A公开日:20170707

摘要:一种具有式(I)的光酸产生剂化合物:其中,EWG、Y、R和M与说明书中所描述相同。

申请人:罗门哈斯电子材料有限责任公司

地址:美国马萨诸塞州

国籍:US

代理机构:上海专利商标事务所有限公司

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