专利名称：光酸产生剂专利类型：发明专利
发明人：W·威廉姆斯三世,E·阿卡德,J·F·卡梅伦申请号：CN201611192232.7申请日：20161221公开号：CN106928109A公开日：20170707
摘要：一种具有式(I)的光酸产生剂化合物：其中，EWG、Y、R和M与说明书中所描述相同。
申请人：罗门哈斯电子材料有限责任公司
地址：美国马萨诸塞州
国籍：US
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
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