专利名称：使用循环钝化和蚀刻的高深宽比选择性横向蚀刻专利类型：发明专利
发明人：夸梅·伊森,皮利翁·帕克,马克·直司·川口,朴胜浩,常小
伟
申请号：CN201880050594.3申请日：20180726公开号：CN110998804A公开日：20200410
摘要：本发明描述了用于从凹陷特征的侧壁横向蚀刻不需要的材料的方法和装置。在各种实施方案中，该方法包括蚀刻侧壁的一部分，在侧壁的一部分上沉积保护膜，以及循环进行蚀刻和沉积操作，直到从凹陷特征的整个深度去除不需要的材料为止。每个蚀刻和沉积操作可以沿着特征的侧壁瞄准特定深度。在某些情况下，不需要的材料从特征的底部向上去除，而在其他情况下，不需要的材料从特征的顶部向下去除。也可以使用这些的某种组合。
申请人：朗姆研究公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：上海胜康律师事务所
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