（12）发明专利说明书
（21）申请号 CN200410015593.5 （22）申请日 2004.02.28
（71）申请人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
地址 518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
（10）申请公布号 CN1310024C （43）申请公布日 2007.04.11
（72）发明人 宋长志 （74）专利代理机构
代理人
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
原子力显微镜探针装置及其制造方法
（57）摘要
一种原子力显微镜探针装置，包括：
一探针座；一固定于探针座、具有至少一可设置针尖的末端的悬臂；以及设置于该悬臂末端用作针尖的碳纳米管。其中，该探针悬臂末端的顶部形成有一具有孔洞的平面，该碳纳米管由该孔洞基本垂直于该平面长出。本发明还提供上述原子力显微镜探针装置的制造方法。本发明采用X光深刻电铸模造制程处理需设置碳纳米管针尖的原子力显微镜探针悬臂，解决现有技术中用作原子力显微镜探针针尖碳纳米管的取向性低的问题。
法律状态
法律状态公告日
2005-08-31 2005-08-31 2005-11-02 2005-11-02 2007-04-11 2007-04-11 2018-03-16
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止
法律状态
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止
权利要求说明书
原子力显微镜探针装置及其制造方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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